1）工具電極
電火花加工用的工具，是火花放電時電極之一，故稱工具電極。
2）放電間隙
是指加工時，工具和工件之間產生火花放電的距離間隙。在加工過程中稱之為加工間隙S，它的大小一般在0.01～0.5mm之間。粗加工時間隙較大；精加工時則較小。加工間隙又可分為端面間隙SF和側面間隙SL；對沖壓模具等的穿孔加工來說，可分為入口間隙Sin和出口間隙Sout；在一般情況下SF稍小于SL，Sin稍小于Sout。
3）脈沖電源
是電火花加工設備的主要組成部分之一，它給放電間隙提供一定能量的電脈沖，是電火花加工時的能量來源，常簡稱為電源。
4）伺服進給系統
是電火花加工設備的主要組成部分，作用是使工具電極伺服進給、自動調節，使工具電極和工件在加工過程中保持一定的平均端面放電間隙。我國早期電火花加工機床中的伺服進給系統是液壓式的，靠液壓油缸和活塞產生進給運動，實現伺服進給。現在采用步進電動機或大力矩、寬調速直流電動機以及交流伺服電動機作為伺服進給系統。
5）工作液介質
電火花加工時，工具和工件間的放電間隙必須浸泡在有一定絕緣性能的液體介質中，此液體介質即稱工作液介質。一般將煤油作為電火花加工時的工作液。
6）電蝕產物
是指電火花加工過程中被電火花蝕除下來的產物。狹義而言，指工具和工件表面被蝕除下來的金屬微粒小屑和煤油等工作液在高溫下分解出來的炭黑，也稱為加工屑。廣義而言，電蝕產物還包括煤油在高溫下分解出來的氣體氫、甲烷等小氣泡。
7）電規準電參數
是指電火花加工時選用的電加工用量、電加工參數，主要有脈沖寬度ti、脈沖間隔to、峰值電壓ui、峰值電流ie等脈沖參數，這些脈沖參數在每次加工時必須事先選定。
8）脈沖寬度ti（μs）
簡稱脈寬，日本及英美用ton。或τon表示。它是加到工具和工件上放電間隙兩端的電壓脈沖持續時間。為了防止電弧燒傷，電火花加工只能用斷續的脈沖電壓波。粗加工時，用較大的脈寬，ti＞100μs；精加工時，只能用較小的脈寬，ti＜50μs。
9）脈沖間隔to（μs）
簡稱脈間，也稱脈沖停歇時間。它是兩個電壓脈沖之間的間隔時間。間隔時間太短，放電間隙來不及消電離和恢復絕緣，容易產生電弧放電，燒傷工具和電極；脈間選擇的太長，將降低加工生產率。
10）放電時間（電流脈寬）te（μs）
放電時間是工作液介質擊穿后放電間隙中流過放電電流的時間，亦即電流脈寬，它比電壓脈寬稍小，差一擊穿延時td。ti和te對電火花加工的生產效率、表面粗糙度和電極損耗等有很大的影響，但實際起作用的是電流脈寬te。
11）擊穿延時td（μs）
從間隙兩端加上脈沖電壓后，一般均要經過1小段的延續時間td，工作液介質才能概率性地被擊穿放電，此時間稱為擊穿延時，它與平均放電間隙大小有關，工具欠進給時，平均放電間隙偏大，平均擊穿延時td就大；反之工具過進給時，放電間隙變小，td也就小。
12）脈沖周期tp（μs）
一個電壓脈沖開始到下一個電壓脈沖開始之前的時間稱為脈沖周期，顯然tp=ti＋to 。
13）開路電壓（空載電壓）或峰值電壓ui（V）開路電壓是間隙開路時電極間的最高電壓，等于電源的直流電壓。一般晶體管方波脈沖電源的峰值電壓ui=80～100V，高低壓復合脈沖電源的高壓峰值電壓為175～300V。峰值電壓高時，放電間隙大，生產率高，但成形復制精度稍差。
14)加工電流I（A）
加工時，電流表上指示的流過放電間隙的平均電流。精加工時小，粗加工時大；間隙偏開路時小，間隙合理或偏短路時則大。
15)峰值電流ie(A) 是間隙火花放電時脈沖電流的最大值（瞬時），雖然峰值電流不易直接測量，但它是實際影響生產率、表面粗糙度等指標的重要參數。脈沖電源的每一功率放大管的峰值電流是預先選擇和計算好的，可按說明書選定粗、中、精峰值電流（實際上是選定幾個功率放大管進行工作）。
16) 正、負極性加工
加工時以工件為準，工件接脈沖電源正極（高電位端），稱為正極性加工；反之，工件接電源負極（低電位端），則稱為負極性加工。高生產率、低損耗粗加工時，常用負極性長脈寬加工。
17）放電狀態
放電狀態是指電火花加工時放電間隙內每一脈沖放電時的基本狀態，一般分為五種放電狀態。
①開路：放電間隙沒有被擊穿，間隙上有大于50V的電壓，但間隙內沒有電流流過，為空載狀態（td=ti）。
②火花放電：間隙內絕緣性能良好，工作液介質擊穿后能有效地拋出、蝕除金屬。波形特點是電壓上有td，te和ie，波形上有高頻振蕩的小鋸齒波形。
③短路：放電間隙直接短路連接，這是由于伺服進給系統瞬時進給過多或放電間隙中有電蝕產物搭接所致。間隙短路時電流較大，但間隙兩端的電壓很小，沒有蝕除加工作用。
④電弧放電：由于排屑不良，放電點集中在某一局部而不分散，局部熱量積累，溫度升高，惡性循環，此時火花放電就成為電弧放電，由于放電點固定在某一點或某局部，因此稱之為穩定電弧，常使電極表面結炭、燒傷。波形特點是td和高頻振蕩的小鋸齒波基本消失。
⑤過渡電弧放電：是正常火花放電與穩定電弧放電的過渡狀態，是穩定電弧放電的前兆。波形特點是擊穿延時很小或接近于零，僅成為一尖剌，電壓電流波上的高頻分量變低成為稀疏的鋸齒形。
以上各種放電狀態在實際加工中是交替、概率性地出現的（與加工規準和進給量等有關），甚至在一次單脈沖放電過程中，也可能交替出現兩種以上的放電狀態。
18）加工速度Vw（mm3/min）或Vm(g/min) 加工速度是單位時間內(min)從工件上蝕除加工下來的金屬體積（mm3）以質量（g）計算時用Vm表示，也稱為加工生產率。大功率電源粗加工時Vw＞500mm3/min，但電火花精加工時，通常Vw＜20mm3/min。
19）損耗速度VE（mm3/min或g/min）
是單位時間內(min)工具電極的損耗量。
電火花加工用的工具，是火花放電時電極之一，故稱工具電極。
2）放電間隙
是指加工時，工具和工件之間產生火花放電的距離間隙。在加工過程中稱之為加工間隙S，它的大小一般在0.01～0.5mm之間。粗加工時間隙較大；精加工時則較小。加工間隙又可分為端面間隙SF和側面間隙SL；對沖壓模具等的穿孔加工來說，可分為入口間隙Sin和出口間隙Sout；在一般情況下SF稍小于SL，Sin稍小于Sout。
3）脈沖電源
是電火花加工設備的主要組成部分之一，它給放電間隙提供一定能量的電脈沖，是電火花加工時的能量來源，常簡稱為電源。
4）伺服進給系統
是電火花加工設備的主要組成部分，作用是使工具電極伺服進給、自動調節，使工具電極和工件在加工過程中保持一定的平均端面放電間隙。我國早期電火花加工機床中的伺服進給系統是液壓式的，靠液壓油缸和活塞產生進給運動，實現伺服進給。現在采用步進電動機或大力矩、寬調速直流電動機以及交流伺服電動機作為伺服進給系統。
5）工作液介質
電火花加工時，工具和工件間的放電間隙必須浸泡在有一定絕緣性能的液體介質中，此液體介質即稱工作液介質。一般將煤油作為電火花加工時的工作液。
6）電蝕產物
是指電火花加工過程中被電火花蝕除下來的產物。狹義而言，指工具和工件表面被蝕除下來的金屬微粒小屑和煤油等工作液在高溫下分解出來的炭黑，也稱為加工屑。廣義而言，電蝕產物還包括煤油在高溫下分解出來的氣體氫、甲烷等小氣泡。
7）電規準電參數
是指電火花加工時選用的電加工用量、電加工參數，主要有脈沖寬度ti、脈沖間隔to、峰值電壓ui、峰值電流ie等脈沖參數，這些脈沖參數在每次加工時必須事先選定。
8）脈沖寬度ti（μs）
簡稱脈寬，日本及英美用ton。或τon表示。它是加到工具和工件上放電間隙兩端的電壓脈沖持續時間。為了防止電弧燒傷，電火花加工只能用斷續的脈沖電壓波。粗加工時，用較大的脈寬，ti＞100μs；精加工時，只能用較小的脈寬，ti＜50μs。
9）脈沖間隔to（μs）
簡稱脈間，也稱脈沖停歇時間。它是兩個電壓脈沖之間的間隔時間。間隔時間太短，放電間隙來不及消電離和恢復絕緣，容易產生電弧放電，燒傷工具和電極；脈間選擇的太長，將降低加工生產率。
10）放電時間（電流脈寬）te（μs）
放電時間是工作液介質擊穿后放電間隙中流過放電電流的時間，亦即電流脈寬，它比電壓脈寬稍小，差一擊穿延時td。ti和te對電火花加工的生產效率、表面粗糙度和電極損耗等有很大的影響，但實際起作用的是電流脈寬te。
11）擊穿延時td（μs）
從間隙兩端加上脈沖電壓后，一般均要經過1小段的延續時間td，工作液介質才能概率性地被擊穿放電，此時間稱為擊穿延時，它與平均放電間隙大小有關，工具欠進給時，平均放電間隙偏大，平均擊穿延時td就大；反之工具過進給時，放電間隙變小，td也就小。
12）脈沖周期tp（μs）
一個電壓脈沖開始到下一個電壓脈沖開始之前的時間稱為脈沖周期，顯然tp=ti＋to 。
13）開路電壓（空載電壓）或峰值電壓ui（V）開路電壓是間隙開路時電極間的最高電壓，等于電源的直流電壓。一般晶體管方波脈沖電源的峰值電壓ui=80～100V，高低壓復合脈沖電源的高壓峰值電壓為175～300V。峰值電壓高時，放電間隙大，生產率高，但成形復制精度稍差。
14)加工電流I（A）
加工時，電流表上指示的流過放電間隙的平均電流。精加工時小，粗加工時大；間隙偏開路時小，間隙合理或偏短路時則大。
15)峰值電流ie(A) 是間隙火花放電時脈沖電流的最大值（瞬時），雖然峰值電流不易直接測量，但它是實際影響生產率、表面粗糙度等指標的重要參數。脈沖電源的每一功率放大管的峰值電流是預先選擇和計算好的，可按說明書選定粗、中、精峰值電流（實際上是選定幾個功率放大管進行工作）。
16) 正、負極性加工
加工時以工件為準，工件接脈沖電源正極（高電位端），稱為正極性加工；反之，工件接電源負極（低電位端），則稱為負極性加工。高生產率、低損耗粗加工時，常用負極性長脈寬加工。
17）放電狀態
放電狀態是指電火花加工時放電間隙內每一脈沖放電時的基本狀態，一般分為五種放電狀態。
①開路：放電間隙沒有被擊穿，間隙上有大于50V的電壓，但間隙內沒有電流流過，為空載狀態（td=ti）。
②火花放電：間隙內絕緣性能良好，工作液介質擊穿后能有效地拋出、蝕除金屬。波形特點是電壓上有td，te和ie，波形上有高頻振蕩的小鋸齒波形。
③短路：放電間隙直接短路連接，這是由于伺服進給系統瞬時進給過多或放電間隙中有電蝕產物搭接所致。間隙短路時電流較大，但間隙兩端的電壓很小，沒有蝕除加工作用。
④電弧放電：由于排屑不良，放電點集中在某一局部而不分散，局部熱量積累，溫度升高，惡性循環，此時火花放電就成為電弧放電，由于放電點固定在某一點或某局部，因此稱之為穩定電弧，常使電極表面結炭、燒傷。波形特點是td和高頻振蕩的小鋸齒波基本消失。
⑤過渡電弧放電：是正常火花放電與穩定電弧放電的過渡狀態，是穩定電弧放電的前兆。波形特點是擊穿延時很小或接近于零，僅成為一尖剌，電壓電流波上的高頻分量變低成為稀疏的鋸齒形。
以上各種放電狀態在實際加工中是交替、概率性地出現的（與加工規準和進給量等有關），甚至在一次單脈沖放電過程中，也可能交替出現兩種以上的放電狀態。
18）加工速度Vw（mm3/min）或Vm(g/min) 加工速度是單位時間內(min)從工件上蝕除加工下來的金屬體積（mm3）以質量（g）計算時用Vm表示，也稱為加工生產率。大功率電源粗加工時Vw＞500mm3/min，但電火花精加工時，通常Vw＜20mm3/min。
19）損耗速度VE（mm3/min或g/min）
是單位時間內(min)工具電極的損耗量。